測長SEM（CD-SEM：Critical Dimension-Scanning Electron Microscope）は走査型電子顕微鏡（SEM）の応用装置です。特に半導体等のウェーハ上に形成された微細パターンの寸法計測用に特化した装置で、主に半導体等の電子デバイスの製造ラインで使用されます。
