Resistivity Measurement Equipment
材料の抵抗率/ブロック抵抗を測定する多目的インテリジェント総合測定器です。
計測装置・検査装置 “Best Service”を提供致します。
Process Performance 保証
材料の抵抗率/ブロック抵抗を測定する多目的インテリジェント総合測定器です。
走査型電子顕微鏡(SEM)の応用装置です。主に半導体等の電子デバイスの製造ラインで使用されます。
塗装やメッキ・コーティングによる皮膜の厚さを正確に測定します。
塗装やメッキ・コーティングによる皮膜の厚さを正確に測定します。
光オーバーレイ技術は、10nmの大量生産のための最先端技術です。複数の形状を高情報処理でイメージングできるのがその特長です。
回転しているウェハにレーザービームを照射し、ウェハの全面を照射できるように半径方向に移動させます。パターンがないので、画像の比較をせずに直接欠陥を検出することができます。
残留応力の定量化を行う装置です。
表面形状測定装置は、エンジニアリング部品の表面仕上げや形状を測定するために使用されます。識別可能な表面の質感やトポロジーの特性には、粗さ、輪郭、形状、うねり、欠陥などがあります。
本装置の詳細は現在準備中です。
本装置の詳細は現在準備中です。
UV & F5xシリーズの装置の販売、修理、改造等を行っております。