未分類 モジュールヒータ(Vaccum Line2-2 改善版) 2021.10.04 未分類 商品コード 810-110862 メーカー TEL 型式 MO 11600C Qty:8 SPEC 5 X FI ETHERNET DIGITAL I/O 前の装置 WAFER’S SUPPORT FLYWHEEL 300mm 45DEGR 次の装置