REPAIR PARTS

修理部品類

ロボット, コントローラ, RPS, RF電源

ロボット(Robot Models and Applications)

修理及び交換、取付調整まで対応いたします。

 

コントローラ(Controller Models and Applications)

豊富な在庫でエクスチェンジ対応が可能です。
修理及び交換、取付調整まで対応いたします。

 

RPS、RF電源

  • ヒーター類
  • 溶接ベローズ類
  • O-ringなど消耗品類
  • バルブ類
  • RPS類
  • RF電源類
  • バラトロン類
  • MFC類
  • Matching Box類
  • TMP類
  • ドライポンプ類
  • その他